特許
J-GLOBAL ID:200903042395239414

超音波測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 半田 昌男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-112342
公開番号(公開出願番号):特開平8-285826
出願日: 1995年04月13日
公開日(公表日): 1996年11月01日
要約:
【要約】【目的】 S/N比が良く、また過誤測定が少なく、且つ、スケールに影響されることなく物質内部の状態を検知することができる超音波測定装置を提供することを目的とする。【構成】 試料10の表面にレーザー光を照射して超音波を励起させるパルスレーザー光発生装置1と、試料10の表面に向けて水柱を射出するノズル部2と、試料10で反射され、水柱を介して伝播された超音波エコーを検出する圧電変換器3とを具備する。前記構成により試料表面にレーザー光を照射して超音波を発生させるので、水柱を介して試料表面に超音波を伝播する従来の装置と比べてノズル部2の内部における超音波の多重反射を減ずることができる。
請求項(抜粋):
検査対象である試料の表面にレーザー光を照射して前記試料に超音波を励起させるレーザー照射手段と、前記試料の表面に向けて水柱を射出する水柱射出手段と、前記試料で反射され、前記水柱を介して伝播された前記超音波の反射波を検出する超音波検出手段と、を具備することを特徴とする超音波測定装置。
IPC (2件):
G01N 29/10 ,  G01B 17/00
FI (2件):
G01N 29/10 ,  G01B 17/00 Z

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