特許

J-GLOBAL ID：200903042406354377

フォトサーマルセンサ

発明者： シュルツ,トルステン ,  ファウベル,ヴェルナー
出願人/特許権者： フオルシユングスツエントルム カールスルーエ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-507638
公開番号（公開出願番号）：特表平8-507367
出願日： 1993年06月11日
公開日（公表日）： 1996年08月06日
要約：

【要約】本発明は、励起光源(4)により試料(11)の中に熱レンズの形成される形式のフォトサーマルセンサに関する;屈折率の変化は検出レーザビーム(3)により検出器(5,6)を介して検出される。本発明により、検出レーザビームはレンズ(8)により形成される。このビームは試料(11)の個所におけるビーム半径が、励起光源(4)のビームの狭窄部の少なくとも5倍に拡開化される。

請求項（抜粋）：

試料(11)の中の成分の濃度を測定するためのフォトサーマルセンサであって、該センサは a)励起用光源(4)を備え、該光源は、試料(11)の中でならびに第1の光ビームのビーム路において吸収が行なわれるような波長の第1の光ビームを放出し、 b)変調器(17)を備え、さらに後続して c)結像光学装置(14)を備え、該結像光学装置は試料(11)の近傍において第1の光ビームの狭窄部を生ぜさせ、 d)検出レーザ(3)を備え、該検出レーザはコヒーレントな光の第2の光ビームを第1の光ビームに垂直な方向に放出し、 e)第2の光ビームの中にレンズ(8)を備え、 f)2つの面(1,2)を有するビームスプリッタ(9a)を備え、該ビームスプリッタは次のように配置されており、即ち 励起光源(4)から送出された第1の光ビームが変調器(17)と結像光学装置(14)を通った後に、および検出レーザ(3)から送出されたコヒーラントな光の第2の光ビームがレンズ(8)を通った後に、ビームスプリッタ(9a)の相異なる面へ入射するように配置されており、 ならびに励起用光源(4)から送出された第1の光ビームの成分も、検出レーザ(3)から送出されたコヒーラントな光の成分も、試料(11)へ入射するように、配置されており、 g)第1の光感検出器(5)を備え、該光感検出器はビームスプリッタ(9a)の後方のビーム路における第1の光ビームの別の成分を検出するように配置されており;さらに該フォトサーマルセンサは試料(11)へ入射して該試料(11)を透過する光のビーム路において試料(11)の後方に h)絞り(12)と、 i)フィルタ(9b)を備え、これらの部材の後方にビーム路に j)第2の光感検出器(6)が設けられている形式の、フォトサーマルセンサにおいて、 k)レンズ(8)が次のように選定されていることを、即ち検出レーザ(3)から送出されたコヒーラントな光の第2の光ビームは、試料(11)の個所におけるビーム半径が第1の光ビームの狭窄部の半径の少なくとも5倍に拡開化されるように、選定されていることを特徴とする、フォトサーマルセンサ。