特許
J-GLOBAL ID：200903042408026105
レジストパターン位置の検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-159369
公開番号（公開出願番号）：特開平11-008178
出願日： 1997年06月17日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：
【要約】【課題】 重ね合わせマークの誤認識量を少なくし、これにより正確な補正を行えるようにしたレジストパターン位置の検査方法の提供が望まれている。【解決手段】 ウエハ上に形成されたレジストパターンの位置を検査する方法である。まず、エハに形成されたX方向あるいはY方向のスクライブライン2a、2bのうち、一方の方向のスクライブライン上のみにレジストからなる重ね合わせマーク1を形成し、かつその周囲にレジスト無し部分3を設ける。その後、重ね合わせマーク1に基づいてレジストパターンのオフセット値を求める。
請求項（抜粋）：
ウエハ上に形成されたレジストパターンの位置を検査する方法であって、前記ウエハに形成されたX方向あるいはY方向のスクライブラインのうち、一方の方向のスクライブライン上のみにレジストからなる重ね合わせマークを形成し、かつその周囲にレジスト無し部分を設け、その後、前記重ね合わせマークに基づいてレジストパターンのオフセット値を求めることを特徴とするレジストパターン位置の検査方法。
FI (2件)：
H01L 21/30 525 B
, H01L 21/30 525 W
