非接触形状測定装置及び非接触形状測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：秋本正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-229987
公開番号（公開出願番号）：特開2003-042729
出願日： 2001年07月30日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】速やかに基板及びハンダバンプの形状を媒質別に求めることができる非接触形状測定装置及び非接触形状測定方法を提供すること。【解決手段】光源からの投射光の測定対象物への入射角度を所定の角度として、ランダム光を投射するランダム光投射手段と、この所定の角度で投射して得られた測定対象物からの反射光を、ランダム光と,反射面に平行な光成分の光と,反射面に垂直な光成分の光と,に偏光する偏光手段と、偏光された光をそれぞれ検出する検出手段と、予め測定して得られた分解能データと,検査方法に関するデータと,を格納する記憶手段と、前記検出手段にて得られた検出結果データと,前記分解能データ及び検査方法に関するデータと,を用いて測定対象物の形状を算出する形状算出処理手段と、を有する。

請求項（抜粋）：

光源からの投射光の測定対象物への入射角度を所定の角度として、ランダム光を投射するランダム光投射手段と、この所定の角度で投射して得られた測定対象物からの反射光を、ランダム光と,反射面に平行な光成分の光と,反射面に垂直な光成分の光と,に偏光する偏光手段と、該偏光手段により偏光された光をそれぞれ検出する検出手段と、予め測定して得られた分解能データと,検査方法に関するデータと,を格納する記憶手段と、前記検出手段にて得られた検出結果データと,前記記憶手段に格納された前記分解能データ及び検査方法に関するデータと,を用いて測定対象物の形状を算出する形状算出処理手段と、を有することを特徴とする非接触形状測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 , H05K 3/34 512

FI (2件)：

H05K 3/34 512 B , G01B 11/24 A

Fターム (49件)：

2F065AA02 , 2F065AA03 , 2F065AA04 , 2F065AA12 , 2F065AA14 , 2F065AA17 , 2F065AA24 , 2F065AA30 , 2F065AA54 , 2F065BB05 , 2F065BB22 , 2F065BB24 , 2F065CC01 , 2F065CC26 , 2F065DD11 , 2F065FF09 , 2F065FF41 , 2F065FF49 , 2F065FF61 , 2F065FF65 , 2F065FF67 , 2F065GG06 , 2F065HH04 , 2F065HH08 , 2F065HH12 , 2F065HH18 , 2F065JJ02 , 2F065JJ05 , 2F065JJ16 , 2F065LL10 , 2F065LL12 , 2F065LL15 , 2F065LL31 , 2F065LL37 , 2F065LL62 , 2F065MM15 , 2F065NN20 , 2F065PP05 , 2F065PP12 , 2F065QQ03 , 2F065QQ04 , 2F065QQ23 , 2F065QQ26 , 2F065QQ28 , 2F065QQ29 , 2F065QQ42 , 2F065RR10 , 5E319BB04 , 5E319CD51

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