特許
J-GLOBAL ID：200903042409796915
有機EL発光素子の製造装置および方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-331633
公開番号（公開出願番号）：特開平10-158821
出願日： 1996年11月27日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：
【要約】【課題】 陰電極界面での膜の密着性を改善し、素子の長寿命化が可能な陰電極を用いた有機EL発光素子、および材料の蒸気圧等に制限されることなく、素子の構成膜にダメージを与えないで前記陰電極の製膜が可能な有機EL発光素子の製造装置および方法を提供する。【解決手段】 有機EL素子の陰電極または陽電極を製膜するために用いられ、少なくとも基板と、ターゲットと、これら基板とターゲットとの間にDC電圧を印加するDC電源とを有するDCスパッタ装置であって、ターゲットと基板との間に接地電位ないし正電位であるグリッド電極、あるいは/および、ターゲットと基板との間にターゲットより小さな開口を有するアパーチャを設けた有機EL発光素子の製造装置、およびこの装置を用いて陰電極を成膜する有機EL発光素子の製造方法。
請求項（抜粋）：
有機EL素子の陰電極または陽電極を製膜するために用いられ、少なくとも基板と、ターゲットと、これら基板とターゲットとの間にDC電圧を印加するDC電源とを有するDCスパッタ装置であって、ターゲットと基板との間に接地電位ないし正電位であるグリッド電極を有する有機EL発光素子の製造装置。
IPC (3件)：
C23C 14/12
, C23C 14/34
, H05B 33/10
C23C 14/12
, C23C 14/34 T
, C23C 14/34 S
, H05B 33/10
