特許
J-GLOBAL ID：200903042411728803
圧力センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-175546
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201500
出願日： 1991年07月16日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：
【要約】【目的】 高温度でも高感度で安定した出力を得ることが可能な圧力センサを提供する。【構成】 シリコン基板1の表面に形成されたダイアフラム2と,該ダイアフラム2上に形成されたアノ-ド(または冷陰極エミッタ)4と,該アノ-ド(または冷陰極エミッタ)4に対向して配置された冷陰極エミッタ(またはアノ-ド)からなり,前記アノ-ド4とエミッタ7との空間を真空とした。
請求項（抜粋）：
シリコン基板に形成されたダイアフラムと,該ダイアフラム上に形成されたアノ-ド(または冷陰極エミッタ)と,該アノ-ド(または冷陰極エミッタ)に対向して配置された冷陰極エミッタ(またはアノ-ド)からなり,前記アノ-ドと冷陰極エミッタとの空間を真空としたことを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 9/04 101
, G01L 19/04
, H01L 29/84
