特許

J-GLOBAL ID：200903042414282407

研磨方法

発明者： 対馬 光雄 ,  安井 健吾 ,  野村 和司 ,  市川 元
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-054889
公開番号（公開出願番号）：特開平9-248741
出願日： 1996年03月12日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】加工面形状を崩すことなく、うねり除去が行える研磨方法を提供する。【解決手段】加工面形状と設計面形状との形状誤差を部分的に修正する部分修正研磨を加工面に施すステップ(S101)と、部分修正研磨を施された前記加工面のうねりを除去するステップ(S102)を繰返し行い、その後、精度の高い部分修正研磨を加工面に施すステップ(S103)と、S102で用いたポリシャとは、接触面積及び硬さが異なるポリシャで加工面の微小なうねりを除去するステップ(S103)を繰返し行う。

請求項（抜粋）：

加工面を研磨するための研磨方法において、加工面形状と設計面形状との形状誤差を部分的に修正する部分修正研磨を前記加工面に施すステップと接触面積及び硬さが異なるポリシャを多段階に使い分け、部分修正研磨を施された前記加工面のうねりを除去するステップとを有することを特徴とする研磨方法。