特許

J-GLOBAL ID：200903042415948867

両面研磨機用キャリア

発明者： 渡部 博 ,  井上 元一 ,  本多 啓志
出願人/特許権者： コーテック株式会社 ,  日本石英硝子株式会社
代理人 (1件)： 上島 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-023489
公開番号（公開出願番号）：特開平6-218667
出願日： 1993年01月20日
公開日（公表日）： 1994年08月09日
要約：

【要約】【目的】従来の両面研磨機用キャリアと比較して、厚みが薄くかつ面積の大きな被研磨材を支持することができるとともに、生産性の向上を図りかつ被研磨材の破損の発生を防止する。【構成】外周にギア部14aを形成するとともに、フラット・パネル・ディスプレイ用の硝子基板12の大きさに略相当する大きさの孔部18が穿設されたキャリア本体部14と、硝子基板12の角部を除く端部とキャリア本体部14に穿設された孔部18の硝子基板12の角部に対応する部位を除く周部との間に配設された被研磨材支持部材16a、16b、16c、16dとを有し、キャリア本体部14を強度の高い材料により形成し、被研磨材支持部材16a、16b、16c、16dを柔軟性材料により形成した。

請求項（抜粋）：

外周にギア部を形成するとともに、多角形状に形成された被研磨材の大きさに略相当する大きさの孔部が穿設されたキャリア本体部と、前記被研磨材の角部を除く端部と前記キャリア本体部に穿設された前記孔部の前記被研磨材の角部に対応する部位を除く周部との間に配設された被研磨材支持部材とを有し、前記キャリア本体部を、強度の高い材料により形成し、少なくとも前記被研磨材支持部材の前記被研磨材との接触部位を、前記被研磨材と当接しても前記被研磨材の破損を生じにくい柔軟性材料により形成したことを特徴とする両面研磨機用キャリア

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  B24B 7/17

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭61-209877
  
• 特開平1-273319
  
• 特開平4-309247
  
• 特開平4-212408
  
• 特開昭61-209877