特許

J-GLOBAL ID：200903042417076743

ワ-クピ-スを保持するための装置

発明者： オノ マサノリ
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-370725
公開番号（公開出願番号）：特開2000-174106
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2000年06月23日
要約：

【要約】【課題】 ワークピースを支持体上に保持するための装置、及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 装置は、接着層204と、第1の固有抵抗を有するベース材料で作られた絶縁層208と、電極層212と、ハイブリッド/接着層214と、ベース材料、及び第2の固有抵抗を有するドーパントで作られ、最終固有抵抗が第1の固有抵抗よりも低くされたワークピース支持層216とを含む。これらの多重固有抵抗層は、チャック強度または長寿命性を過度に犠牲にすることなく、静電チャッキングのためにジョンセンラーベック効果を確立する。本方法は、接着層を配置し、絶縁層を配置し、電極層を配置し、ハイブリッド/接着層を配置し、ワークピース支持層を配置し、これらの層を硬化させ、そしてワークピース支持層内に複数の溝を形成する諸ステップから成る。

請求項（抜粋）：

ワークピースをワークピース支持体上に保持するための装置であって、上記ワークピース支持体上に配置されているワークピース支持層を備え、上記ワークピース支持層はベース材料及びドーパントで作られており、上記ワークピース支持層の固有抵抗は上記ベース材料の固有抵抗よりも小さいことを特徴とする装置。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/3065

FI (4件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H01L 21/203 Z ,  H01L 21/302 B