特許
J-GLOBAL ID:200903042421174849

透明物体の欠陥検出方法とその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 原田 信市
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-057230
公開番号(公開出願番号):特開平5-223746
出願日: 1992年02月12日
公開日(公表日): 1993年08月31日
要約:
【要約】【目的】 光が大きく屈折する欠陥は勿論のこと、屈折の小さい薄泡などの欠陥についても、その大小にかかわらず精度良くしかも簡単に検出できるようにする。【構成】 光源からの光を明暗が交互の規則性をもった識別パターンとして透明物体の検査領域に照射し、その透過光を、焦点が検査領域の後方に位置するようにした固体撮像素子カメラ10で撮影し、該カメラの出力の高低を固体撮像素子9の配列順序に従って検出してその高低の変化量が急峻な画素数を計数し、その画素数が予め設定された個数以上存在しているとき欠陥有りと判定する。
請求項(抜粋):
光源からの光を明暗が交互の規則性をもった識別パターンとして透明物体の検査領域に照射し、その透過光を、焦点が上記検査領域の後方に位置するようにした固体撮像素子カメラで撮影し、該カメラの出力の高低を固体撮像素子の配列順序に従って検出してその高低の変化量が急峻な画素数を計数し、その画素数が予め設定された個数以上存在しているとき欠陥有りと判定することを特徴とする透明物体の欠陥検出方法。
IPC (4件):
G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/90 ,  H04N 7/18

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