特許
J-GLOBAL ID:200903042422804510

非球面レンズの偏心測定方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 樺山 亨 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-057812
公開番号(公開出願番号):特開平9-145537
出願日: 1996年03月14日
公開日(公表日): 1997年06月06日
要約:
【要約】【課題】非球面レンズの非球面の偏心を容易且つ確実に測定する。【解決手段】保持手段4に保持された被検レンズ1の被検面に、光源5からの光束を照射用光学系6,7,8,9,10により照射し、被検面からの反射光を結像光学系7,8,9,10により結像させ、その像の重心位置を重心位置検出手段13,14,15により検出し、重心位置検出手段が検出する、被検面の近軸球面による反射光の像の重心位置および所定の非球面部分からの反射光の像の重心位置と、近軸球面の曲率半径と所定の非球面部分の曲率半径との差:ΔRとをデータとして制御・演算手段17により被検面の偏心量を演算する。
請求項(抜粋):
被検レンズを被検面と逆側の面の球面部で保持する保持手段と、照明用の光源と、この光源からの光束を収束性もしくは発散性の光束として被検面に照射する照射用光学系と、被検面からの反射光を結像させる結像光学系と、この結像光学系による上記反射光の像の重心位置を検出する重心位置検出手段と、上記保持手段に保持された被検レンズと照射用光学系との間隔を調整する間隔調整手段と、上記重心位置検出手段が検出する、被検面の近軸球面による反射光の像の重心位置および、所定の非球面部分からの反射光の像の重心位置と、上記近軸球面の曲率半径と上記所定の非球面部分の曲率半径との差:ΔRとをデータとして、被検面の偏心量もしくは被検面の偏心量および偏心の方向を演算し、上記間隔調整手段を制御する制御・演算手段とを有し、上記保持手段の中心軸と、照射用光学系から被検レンズの被検面に照射される光束の光軸と、上記結像光学系の光軸とが実質的に合致し、上記間隔調整手段は、上記光軸の合致性を実質的に保って間隔調整を行なうものであることを特徴とする非球面レンズの偏心測定装置。
IPC (2件):
G01M 11/00 ,  G01M 11/02
FI (2件):
G01M 11/00 L ,  G01M 11/02 B

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