特許

J-GLOBAL ID：200903042426520770

膜厚測定装置

発明者： 杉岡 幹生
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-166827
公開番号（公開出願番号）：特開平9-325015
出願日： 1996年06月05日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】 膜厚を再計算するための計算範囲を容易に設定できるような膜厚測定装置を提供する。【解決手段】 薄膜試料からの反射光の干渉スペクトルを表わすグラフ20が表示される画面上には、計算範囲を示す範囲設定バー24s及び24eが表示される。範囲設定バー24s又は24eの位置はマウスを操作して設定/変更することができる。データ処理装置は画面上に表示された計算範囲に含まれる干渉スペクトルのデータを用いて膜厚を計算する。

請求項（抜粋）：

薄膜試料に照射する測定光の波長を変化させながら該薄膜試料からの反射光の強度を測定して該反射光の干渉スペクトルを生成し、この干渉スペクトルに基づいて膜厚を算出する膜厚測定装置であって、a)画像表示手段と、b)反射光の干渉スペクトルを表わすグラフの画像データを生成して該画像データを上記画像表示手段へ出力するグラフ生成手段と、c)上記反射光の干渉スペクトルのデータのうち膜厚を計算するための基礎とされるデータの波長範囲を設定又は変更するための計算範囲設定手段と、d)上記計算範囲設定手段により設定又は変更された波長範囲を示す画像の画像データを生成して上記グラフの画像データに重畳する計算範囲表示手段と、を備えることを特徴とする膜厚測定装置。