特許
J-GLOBAL ID:200903042437091056

燃焼圧センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-272174
公開番号(公開出願番号):特開平8-136384
出願日: 1994年11月07日
公開日(公表日): 1996年05月31日
要約:
【要約】【目的】 感歪ダイアフラムとシール用の先端ダイアフラムの剛性比を高く保ちつつ、感歪ダイアフラム表面に面積の大きな感歪抵抗体を形成し、熱的に安定で、S/N比の良好なセンサを得る。【構成】 先端ダイアフラム17に対して感歪ダイアフラム14の剛性を充分高くすることによって先端ダイアフラム17の熱膨張による剛性変化が原因となる出力変動を除去する。さらに、感歪ダイアフラム14の表面に長手方向が1.8mm以上となるように感歪抵抗体12を形成する。これによって、感歪抵抗体12の自己発生ノイズを低減し、熱的に安定でS/N比の良好なセンサを構成する。
請求項(抜粋):
先端にダイアフラムを有する筺体と、前記筺体の内部に設けられ一端が前記先端ダイアフラムの裏側の面に接する圧力伝達部材と、前記筺体の内部に設けられ、かつ前記圧力伝達部材に接し、金属基材の表面にガラス層を焼成された円板状の基板と、前記基板上に形成された電極パターン及び感歪抵抗体から構成され、前記感歪抵抗体の長手方向寸法が1.8mm以上であり、前記基板の中心付近に形成されることを特徴とする燃焼圧センサ。
IPC (4件):
G01L 23/18 ,  F02D 35/00 368 ,  F02D 45/00 368 ,  G01M 15/00

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