特許
J-GLOBAL ID：200903042442612765
動圧流体軸受の溝加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-280411
公開番号（公開出願番号）：特開平5-093285
出願日： 1991年10月01日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：
【要約】【目的】 軸の表面仕上げを行わなくても所定の面精度が得られるようにする。【構成】 完成した軸1の外径より各動圧発生溝4の溝深さを差し引いた外径の軸心材1aを予め製造しておき、この軸心材1aに耐摩耗性硬質無電解メッキを行って、前記動圧発生溝4の溝深さと同等の厚さのメッキ層2を形成する。そののち、前記メッキ層2の周面の前記動圧発生溝4を形成すべき部位以外の部分にレジスト3を印刷する。ついで、エッチングにより、前記動圧発生溝4となる部位のメッキ層2を除去したのち、レジスト3を除去して前記動圧発生溝4を有する軸1を製造する。
請求項（抜粋）：
軸心材にメッキしてメッキ層を形成し、前記メッキ層の周面の動圧発生溝となる部位以外の部分にレジストを印刷したのち、エッチングによって前記動圧発生溝となる部位の前記メッキ層を除去し、ついで前記レジストを除去することを特徴とする動圧流体軸受の溝加工方法。
IPC (5件)：
C23F 1/02
, C23C 18/31
, C23F 1/00
, F16C 17/02
, F16C 33/14
