特許

J-GLOBAL ID：200903042449399366

干渉計

発明者： 押野 哲也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-267570
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097620
出願日： 1998年09月22日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】 非球面ミラーの反射面形状等、表面にX線を反射させる多層膜を形成した非球面ミラーの反射波面等を高精度に計測することができる干渉計を提供する。【解決手段】 点光源1から射出した球面波21を非球面ミラー2の表面に入射させると、その反射光束22は非球面波となる。反射光束22は、光束分割素子3により、横に少しずれた同じ波面を有する2つの光束23、24に分割される。そして、これら2つの光束を干渉させて、その干渉縞をCCDアレイ4で検出する。干渉縞は同じ波面を横ずらし(シェアリング)することによって得られる縞であり、シェアリング干渉法の原理により、この縞の形を解析することで反射光束の波面形状を得ることができる。

請求項（抜粋）：

測定対象物に光束を照射する点光源と、測定対象物で反射された光束を2つの光束に分割する光束分割手段と、分割された2つの光束の干渉によって生じる干渉縞を検出する計測手段とを有することを特徴とする干渉計。

IPC (3件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24 ,  G01M 11/00

FI (3件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24 D ,  G01M 11/00 L

Fターム (35件)：

2F064AA09 ,  2F064BB05 ,  2F064CC04 ,  2F064DD02 ,  2F064DD04 ,  2F064EE08 ,  2F064FF02 ,  2F064FF06 ,  2F064GG02 ,  2F064GG12 ,  2F064GG21 ,  2F064GG49 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F065AA54 ,  2F065BB25 ,  2F065CC21 ,  2F065DD03 ,  2F065DD11 ,  2F065EE01 ,  2F065FF48 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065GG23 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL12 ,  2F065LL19 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065LL67 ,  2F065PP23 ,  2G086GG04