特許

J-GLOBAL ID：200903042451955144

露光方法及びその装置

発明者： 若林 猛
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-329785
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160626
出願日： 1994年12月06日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】 長尺なフレキシブル基板に対して露光を行う際に、生産性の向上を図り、また露光不良が生じないようにする。【構成】 フレキシブル基板2はガイドローラ4にガイドされつつ矢印C方向に搬送される。ビーム発生部12から発生された露光ビーム12aは、露光データに基づいてオンオフするシャッター部13を経た後、ライン走査部14により、ガイドローラ4上においてフレキシブル基板2の搬送方向に対して直交する方向にライン走査される。この場合、露光のためにフレキシブル基板2を一旦停止させる必要がなく、したがって生産性の向上を図ることができる。また、ガイドローラ4上におけるフレキシブル基板2に撓みが生じないようにすることができ、したがってフレキシブル基板2の撓みに起因する露光不良が生じないようにすることができる。

請求項（抜粋）：

基板を搬送しながら、該基板の搬送方向に対して直交する方向に露光ビームを露光データに基づいてライン走査することにより、露光を行うようにしたことを特徴とする露光方法。

IPC (5件)：

G03F 7/20 ,  G03B 27/32 ,  G03B 27/54 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00