特許
J-GLOBAL ID：200903042470280638
テストボード着脱装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
油井 透 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-276060
公開番号（公開出願番号）：特開平6-130110
出願日： 1992年10月14日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：
【要約】【目的】 両手を使って2個の電気スイッチを同時に押さないとシリンダが作動しないようにすることによって、シリンダ圧で下降する押え枠により手や部品を挟まないようにし、小型でありながら押え枠の安全性を確保する。【構成】 パフォーマンスボード13をテストヘッド11に載置した後、片手では同時に操作できない距離を離して設けた2個のスイッチ5、6を操作する。2個のスイッチ5、6が同時に押されると、第1電磁弁2が開き第2電磁弁4が閉じて空気圧がシリンダ20へ供給され、押え枠14が下降する。再度、2個のスイッチ5、6が同時に押されると、第2電磁弁4が開き第1電磁弁が閉じてシリンダ20へ供給されていた空気圧が開放され、バネ力により押え枠14が上昇する。2個のスイッチ5、6のいずれか一つのみが操作されても、第1電磁弁2は開かない。
請求項（抜粋）：
テストヘッドに対してテストボード用の押え枠を下降させることによりテストボードをロックし、押え枠を上昇させることによりテストボードのロックを解除するテストボード着脱装置において、押え枠に流体圧を加えて押え枠を昇降させるアクチュエータと、押え枠を昇降させるためのアクチュエータへの流体を制御する制御弁と、片手では同時に操作できない距離を隔てて設けられた2個のスイッチと、2個のスイッチを同時に操作したとき、制御弁により流体を制御してアクチュエータに押え枠を下降させる流体圧を加え、再度2個のスイッチを同時に操作したとき制御弁により流体を制御してアクチュエータに押え枠を上昇させる流体圧を加える制御回路とを備えたことを特徴とするテストボード着脱装置。
IPC (3件)：
G01R 31/02
, G01R 31/26
, H01L 21/66
