特許

J-GLOBAL ID：200903042471192872

座標測定機の校正値検出方法及びこの校正値を用いた形状データ校正方法

発明者： 福冨 康志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-081036
公開番号（公開出願番号）：特開平11-281306
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 座標測定機の直角度校正値及び接触子校正値を分離して検出できるとともに検出に用いる二つの基準球面の作成が容易である座標測定機の校正値検出方法、及びこの校正値を用いた形状データ校正方法を提供する。【解決手段】 曲率半径が互いに異なる二つの基準球面の形状測定を行い、一方の基準球面の形状データを用いて行う直角度校正値の推定と、他方の基準球面の形状データを用いて行う接触子校正値の推定を交互に繰り返す。このとき用いる二つの基準球面は曲率半径が互いに異なるものであるので双方の曲率半径を精密に一致させる必要がなく、基準球面の作成が容易である。また、この方法により検出された直角度校正値及び接触子校正値を座標測定機の記憶手段に記憶させておき、測定により得られた測定対象の形状データを直角度校正値及び接触子校正値を用いて校正する。

請求項（抜粋）：

測定対象の表面を接触子で走査して前記測定対象の形状データを出力する座標測定機において、曲率半径が互いに異なる二つの基準球面の形状測定を行うことにより、前記座標測定機の座標軸のなす直角度のずれに起因する直角度誤差を校正する直角度校正値及び前記接触子の真の球面形状からの歪に起因する接触子誤差を校正する接触子校正値を検出する座標測定機の校正値検出方法であって、一方の基準球面の形状データを用いて行う前記直角度校正値の推定及び他方の基準球面の形状データを用いて行う前記接触子校正値の推定を交互に繰り返すことにより前記直角度校正値及び前記接触子校正値を検出することを特徴とする座標測定機の校正値検出方法。

IPC (2件)：

G01B 5/20 101 ,  G01B 5/00

FI (2件)：

G01B 5/20 101 Z ,  G01B 5/00 P