基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：五十嵐孝雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-069138
公開番号（公開出願番号）：特開平5-308066
出願日： 1992年02月18日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：

【要約】【目的】特定の処理液残量センサからの検出結果を意図的に無視することが可能であるとともに、その処理液残量センサの特定を誤ったときにも、不良ロットの発生を防止する。【構成】第1の残量センサにより第1の処理液貯留容器に貯留される処理液L1 の残量不足が検知され、且つ、第1の残量警報中断押しボタンがオン状態であると判定された場合に、基板回転処理において、その処理の実行のもととなる基板処理手順内に処理液L1 の規定があると、処理液L1 に関する第2種の警報が発令され(ステップ145)、一方、その基板処理手順内に処理液L1 の規定がない場合、その第2種の警報が解除される(ステップ165)。

請求項（抜粋）：

基板に処理液を供給する基板処理部と、該基板処理部に対して供給する複数の処理液を個別に収容する複数の処理液収容部と、前記処理液収容部に収容された処理液を各処理液収容部から基板処理部に対して供給する複数の処理液供給手段と、少なくとも基板処理部に供給の必要な処理液の種類や供給量を含む各種処理条件を規定する基板処理手順を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された基板処理手順に基づき少なくとも前記複数の処理液供給手段から一処理液供給手段を選択的に制御して基板処理の実行を制御する制御手段とを備える基板処理装置であって、各処理液収容部内の処理液の量を検出する処理液量検出手段と、前記処理液量検出手段の検出結果から任意の処理液収容部内の処理液が不足していることが検知されたとき、異常である旨の判定を行なう異常判定手段とを設け、さらに、前記複数の処理液収容部の中から、異常である旨の判定より除外することを所望する1以上の処理液収容部を、処理液収容部として直接的に、あるいは処理液収容部に収容される処理液として間接的に指示入力する指示入力手段と、前記記憶手段に記憶された基板処理手順内に、前記指示入力手段で指示された処理液収容部内に収容される処理液の種類が規定されているか否かを判別する判別手段と、前記処理液量検出手段の検出結果から任意の処理液収容部内の処理液が不足していることが検知されたとき、当該処理液に対して前記指示入力手段による指示入力がなされ、且つ、前記判別手段により前記処理液の種類が規定されていないと判別された場合、前記異常判定手段による異常である旨の判定を解消する異常判定解消手段とを備えた基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 341 , H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/30 361 L , H01L 21/30 361 A , H01L 21/30 361 B

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