試料観察装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-028811
公開番号（公開出願番号）：特開2000-228166
出願日： 1999年02月05日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】試料観察装置に関し、粒子線装置の対物レンズの内径を小さくかつ試料との距離を小さくして低加速電圧であっても高分解能かつ明るい粒子線像を生成した状態で、試料を透過あるいは反射した光をもとに高分解能かつ明るい光学像を同時に生成する。【解決手段】粒子線を発生する粒子線源と、発生された粒子線を細く絞って試料に照射する粒子線用の対物レンズと、粒子線を面走査する偏向系と、粒子線を試料に照射したときに放出される荷電粒子を検出あるいは吸収された電流を検出してディスプレイ上に輝度変調して粒子線像を表示する粒子線像表示手段とを備え、試料の裏面の近傍に配置した光学顕微鏡用の対物レンズと、試料の上面から光を照射、あるいは上記試料の裏面から光を照射する光照射手段と、光学顕微鏡用の対物レンズによって結像した光学像を表示する光学像表示手段とを備えるように構成する。

請求項（抜粋）：

粒子線を発生する粒子線源と、上記発生された粒子線を細く絞って試料に照射する粒子線用の対物レンズと、上記細く絞って試料に粒子線を照射した状態で、当該粒子線を面走査する偏向系と、上記粒子線を試料に照射したときに放出される荷電粒子を検出あるいは吸収された電流を検出してディスプレイ上に輝度変調して粒子線像を表示する粒子線像表示手段とを備えた観察装置において、上記試料の裏面の近傍に配置した光学顕微鏡用の対物レンズと、上記試料の上面から光を照射、あるいは上記試料の裏面から光を照射する光照射手段と、上記光学顕微鏡用の対物レンズによって結像した光学像を表示する光学像表示手段とを備えたことを特徴とする試料観察装置。

IPC (10件)：

H01J 37/22 502 , H01J 37/22 , G01N 23/225 , G02B 21/00 , G02B 21/06 , G02B 21/36 , G03F 1/00 , H01J 37/21 , H01J 37/28 , H01L 21/66

FI (10件)：

H01J 37/22 502 L , H01J 37/22 502 A , G01N 23/225 , G02B 21/00 , G02B 21/06 , G02B 21/36 , G03F 1/00 V , H01J 37/21 B , H01J 37/28 B , H01L 21/66 J

Fターム (63件)：

2G001AA03 , 2G001AA05 , 2G001AA07 , 2G001AA09 , 2G001AA10 , 2G001AA20 , 2G001BA06 , 2G001BA07 , 2G001BA11 , 2G001BA15 , 2G001CA01 , 2G001CA03 , 2G001CA05 , 2G001CA07 , 2G001CA10 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001GA11 , 2G001HA09 , 2G001HA12 , 2G001HA20 , 2G001JA02 , 2G001JA13 , 2G001KA03 , 2G001KA20 , 2G001LA01 , 2G001LA11 , 2G001LA20 , 2G001MA05 , 2G001RA08 , 2G001SA29 , 2H052AB01 , 2H052AC01 , 2H052AC30 , 2H052AF21 , 2H095AB28 , 2H095BA01 , 2H095BA08 , 2H095BB09 , 2H095BB10 , 2H095BB12 , 2H095BD02 , 2H095BD14 , 4M106AA01 , 4M106AA09 , 4M106BA02 , 4M106BA04 , 4M106BA08 , 4M106CA38 , 4M106CA39 , 4M106DB04 , 4M106DB05 , 4M106DB07 , 4M106DB12 , 4M106DB13 , 4M106DB18 , 4M106DJ04 , 4M106DJ05 , 4M106DJ23 , 5C033MM01 , 5C033UU03 , 5C033UU05 , 5C033UU06

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