特許

J-GLOBAL ID：200903042492454451

透光性物質の不均一性検査方法及びその装置

発明者： 田辺 勝
出願人/特許権者： ホーヤ株式会社
代理人 (1件)： 阿仁屋 節雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-352813
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183392
出願日： 1997年12月22日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】 透光性物質の光学的な不均一性を、透光性物質の形状によらずに、高精度・高速度に検出できる。【解決手段】 透明ガラス製の容器1内に溜められた透明な液体L中に、ガラス製の透明基板2を立てた状態で完全に浸漬する。容器1、液体L及び透明基板2の屈折率はほぼ同一に設定する。容器1内に所定の入射角度で入射したレーザー光Bは、容器1の外側表面で全反射を繰り返しながら伝播する。透明基板2に傷・クラックなどの表面部の不均一や脈理・気泡などの内部の不均一が存在すると、その不均一部分で光の光路(軌道)が均一なときの光路から外れるので、容器1の外側表面で全反射条件が満足されずに外部に光が漏れ出す。この漏れ出た光をCCDカメラ7で検出する。

請求項（抜粋）：

透光性の容器内に収容され、該容器の外側媒質の屈折率よりも大きい屈折率を有する透光性の媒質中に、鏡面仕上げされた表面を有する透光性物質を挿入し、前記透光性物質の光路が光学的に均一の場合に、前記容器の外側表面で全反射を繰り返して伝播するように容器内に光を導入し、前記透光性物質に不均一が存在するときに、前記容器の外側表面から光が漏出することから透光性物質の不均一を検出するようにしたことを特徴とする透光性物質の不均一性検査方法。