特許

J-GLOBAL ID：200903042494133202

エッチング終点検出方法および装置

発明者： 山中 滋夫 ,  鈴木 宏之
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-212958
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044171
出願日： 1999年07月28日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】 エッチングサイクルとデポサイクルとを繰り返すサイクルエッチングの際に、デポサイクルにおける発光強度の変化に左右されることなく正確にエッチング終点を検出できるようにする。【解決手段】 各エッチングサイクルにおけるエッチング反応に基く信号変化だけを取り出すとともに、取出した信号変化に相応する波形の不連続個所を第1補正波形、次いで第2補正波形CW2によって連続させる補正を行い、補正後の連続波形よりエッチング終点EDを検出する。

請求項（抜粋）：

エッチングサイクルとデポサイクルとを繰り返すサイクルエッチングにおいてエッチング終点を検出するに際し、各エッチングサイクルにおけるエッチング反応に基く信号変化だけを取り出すとともに、取り出した信号変化に対応する波形の不連続個所を補正波形によって連続させる補正を行い、補正後の連続波形よりエッチング終点を検出することを特徴とするエッチング終点検出方法。

Fターム (7件)：

5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB11 ,  5F004BB18 ,  5F004BC08 ,  5F004CB02 ,  5F004CB16