特許

J-GLOBAL ID：200903042503683121

露光装置の基板チャック

発明者： 引地 邦彦 ,  大塚 洋一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-072688
公開番号（公開出願番号）：特開平5-234843
出願日： 1992年02月21日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、基板チャックの基板保持側の面で生じる露光光線の反射を抑えることによって、透明な基板または半透明な基板に高精度でかつ高解像度なレジストパターンを形成することを可能にする。【構成】 基板チャック10は、チャック本体11の表面に、露光波長の1/4の厚さの反射防止膜12を形成したものである。あるいは、チャック本体11の表面に、露光光線を吸収する光吸収膜(図示せず)を形成し、さらに光吸収膜の表面に露光波長の1/4の厚さの反射防止膜(図示せず)を形成したものである。

請求項（抜粋）：

露光装置に装備される基板チャックであって、前記基板チャックにおけるチャック本体の基板保持側の表面に、前記露光装置の露光波長の1/4の厚さを有する反射防止膜を形成したことを特徴とする露光装置の基板チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 301 Z ,  H01L 21/30 361 T