特許

J-GLOBAL ID：200903042506251990

超音波洗浄装置

発明者： 長野 泰博
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-020232
公開番号（公開出願番号）：特開平11-204477
出願日： 1998年01月16日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】 振動伝達板の腐食を防止すると共に、洗浄効率の向上を図れるような超音波洗浄装置を提供する。【解決手段】 ウエハWを浸漬する薬液Lを貯留する洗浄槽1と、洗浄槽1の下部を浸漬する純水Pを貯留する中間槽5と、中間槽5の底部に配設され、振動伝達板7と超音波振動素子7Aとからなる超音波発振手段6とを具備する超音波洗浄装置において、中間槽5の上端開口縁と洗浄槽1との隙間を、排気口11を有する蓋体10にて閉塞する。更に蓋体10と、中間槽5内に貯留される純水Pの水面との間に形成されるパージエリア12内に、N2ガスを供給可能に形成する。これにより、パージエリア12内にN2ガスを充満させ、中間槽5内の純水P中への薬液雰囲気の混入を防止し、振動伝達板7の腐食を防止することができる。

請求項（抜粋）：

被処理体の洗浄液を貯留する洗浄槽と、上記洗浄槽の下部を浸漬する振動伝播用液体を貯留する中間槽と、上記中間槽の底部に配設される超音波発振手段と、を具備する超音波洗浄装置において、上記中間槽の上端開口縁と、上記洗浄槽との隙間を、排気口を有する蓋体にて閉塞し、上記蓋体と、上記中間槽内に貯留される振動伝播用液体の液面との間に形成される空間内に、不活性ガスを供給可能に形成してなる、ことを特徴とする超音波洗浄装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 642 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/10 ,  B08B 3/12

FI (4件)：

H01L 21/304 642 A ,  H01L 21/304 642 E ,  B08B 3/10 Z ,  B08B 3/12 A