特許

J-GLOBAL ID：200903042509270783

TFT液晶パネル構造

発明者： 牧野 俊昭 ,  木村 信夫
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-081857
公開番号（公開出願番号）：特開平5-323363
出願日： 1992年04月03日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】【目的】10〜20インチサイズのTFT液晶パネルを複数枚同時にプロセス処理する時や装置間搬送する時に、パネル自身の温度上昇を防ぎ、温度を下げると共に、温度分布を小さくすることでパネルの熱変形ゃ搬送による局部歪を低減する大型TFT液晶パネル構造を提供することにある。【構成】10〜20インチサイズのTFT液晶パネルを複数枚取りできる1枚のガラス基板と、寸法、熱膨張率及び熱伝達率が前記ガラス基板の値と同じで弾性率が前記ガラス基板の値よりも大きい材料から成るホルダ-と、熱伝達率と熱膨張率が前記ガラス基板とホルダーの両者よりも大きくて、弾性率が両者の中間に位置する薄板部材とを有し、該薄板部材を前記ガラス基板と前記ホルダ-間にサンドイッチ状態にして、耐熱性の紫外線硬化樹脂で大型ガラス基板周辺とホルダ-周辺とを張り合わせて封止する構成である。

請求項（抜粋）：

10〜20インチサイズのTFT液晶基板を複数枚取りできる1枚のガラス基板と、寸法、熱膨張率及び熱伝達率が前記ガラス基板の値と同じで弾性率が前記ガラス基板の値よりも大きい材料から成るホルダ-と、熱伝達率と熱膨張率が前記ガラス基板とホルダーの両者よりも大きくて、弾性率が両者の中間に位置する薄板部材とを有し、該薄板部材を前記ガラス基板と前記ホルダ-間にサンドイッチ状態にし、耐熱性の紫外線硬化樹脂でガラス基板とホルダ-の周辺を張り合わせて封止したことを特徴とするTFT液晶パネル構造。

IPC (4件)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1333 ,  H01L 27/12 ,  H01L 29/784