特許

J-GLOBAL ID：200903042513276966

磁性薄膜及びその製造方法

発明者： 古川 伸治 ,  大沼 繁弘 ,  松本 文夫 ,  藤森 啓安 ,  増本 健
出願人/特許権者： 株式会社アモルファス・電子デバイス研究所
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-224438
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086038
出願日： 1993年09月09日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【目的】本発明は、良好な一軸磁気異方性を有し、電気抵抗が大きく、飽和磁歪定数が小さく、高周波特性の優れた磁性薄膜及びその製造方法を提供することを目的とする。【構成】本発明は、2種類以上の結晶相からなる組織を有するCo基合金薄膜において、Pdを含むことを特徴とする磁性薄膜である。

請求項（抜粋）：

2種類以上の結晶相からなる組織を有するCo基合金薄膜において、Pdを含むことを特徴とする磁性薄膜。

IPC (6件)：

H01F 10/16 ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  G11B 5/147 ,  H01F 41/18

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭61-008904
  
• 特開平3-060105
  
• 特開平1-223611
  
• 特開昭61-246914