特許

J-GLOBAL ID：200903042513284276

インクジェットヘッドの作製方法

発明者： 片岡 雅樹
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 石井 康夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-036445
公開番号（公開出願番号）：特開平7-223318
出願日： 1994年02月09日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】 インク滴が飛翔する吐出口の少なくとも一部が樹脂により形成されるインクジェットヘッドの作製方法において、簡単かつ安価な工程で十分な歩留まりを達成できる、樹脂層部の切削バリ除去工程を実現する。【構成】 感光性樹脂層3が形成されたヒーターウエハ1の上に、チャネルウエハ2を接着剤層4で接合し、切削工程で個々のヘッドチップに分離される。この切削工程で切削面に吐出口5が露出するが、吐出口5の下部には感光性樹脂層3が存在し、ダイシングの際に発生する微小な切削バリ3aが、吐出口5にかかり、インク滴の吐出方向性を悪化させる。本発明では、切削工程の後に、少なくとも吐出口近傍の樹脂を該樹脂を溶解できる溶液で処理することによって切削バリを除去する。

請求項（抜粋）：

インク滴が飛翔する吐出口の少なくとも一部が樹脂により形成されるインクジェットヘッドの作製方法において、前記吐出口および/またはその周囲面を切削形成する工程の後に、少なくとも吐出口近傍の樹脂を該樹脂を溶解できる溶液で処理する工程を有することを特徴とするインクジェットヘッドの作製方法。