特許

J-GLOBAL ID：200903042514387702

ネガ型放射線感応性レジスト組成物

発明者： 小林 政一 ,  田中 初幸 ,  中山 寿昌
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 阿形 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-137542
公開番号（公開出願番号）：特開平5-313370
出願日： 1992年05月01日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：

【要約】【構成】 アルカリ可溶性樹脂と、アルコキシメチル化アミノ樹脂と、一般式【化1】〔式中のXは、2-フリル基、3-アルキル-2-フリル基、3,5-ジアルコキシフェニル基である〕で表わされるトリアジン化合物とを含有するネガ型放射線感応性レジスト組成物である。【効果】 上記レジスト組成物は、解像性及びレジストパターンのプロファイル形状に優れ、かつ高感度であり、半導体デバイスの製造分野における微細加工に好適に用いられる。

請求項（抜粋）：

(A)アルカリ可溶性樹脂とアルコキシメチル化アミノ樹脂から成る樹脂成分に対し、(B)一般式【化1】(式中のXは3,5-ジアルコキシフェニル基、2-フリル基又は3-アルキル-2-フリル基である)で表わされるトリアジン化合物を配合したことを特徴とするネガ型放射線感応性レジスト組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-146044
  
• 特開平2-217855
  
• 特開昭61-151644
  
• 特公昭59-001281