真空蒸着装置

発明者： , , , , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：光石俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-314430
公開番号（公開出願番号）：特開平10-152777
出願日： 1996年11月26日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】【課題】同一装置による両面の蒸着を可能とするとともに均一な蒸着面の形成も可能とする真空蒸着装置を提供する。【解決手段】高真空度の真空チャンバ15に所定の温度に予備加熱した帯鋼10を通し、溶融ルツボ6内の溶融金属7を加熱して生じた金属蒸気24を帯鋼10の両面に蒸着させるため、二股に分岐した分流フード2,2′と蒸気発生チャンバ4との境界に複数個の直径の異なる孔を穿孔した蒸気流量を調整するシャッタ3を設け、該シャッタ3から帯鋼10の両面へ金属蒸気24を導くようにするとともに分流フード2,2′に接続する蒸着フード1,1′には帯鋼10への蒸着を均一化するためにそれぞれ整流用の多孔板1a,1′aを設けた。

請求項（抜粋）：

高真空度の真空チャンバに帯鋼を通し、溶融ルツボ内の溶融金属を加熱して生じた金属蒸気を、二股に分岐する分流フード及びこれに連通して帯鋼の両面にそれぞれ開口する開口部を有する蒸着フードを介して帯鋼の両面に蒸着させるとともに、蒸着フード内には1個若しくは複数個の整流用の多孔板を設け、さらに各分流フードに流入する金属蒸気の流量をそれぞれ独立に制御し得るよう各分流フードの入口側開口部にシャッタを配設したことを特徴とする真空蒸着装置。

IPC (2件)：

C23C 14/56 , C23C 14/24

FI (2件)：

C23C 14/56 A , C23C 14/24 V

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平4-136169
特開昭63-089651
特開昭63-192859

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審査官引用 (4件)

特開平4-136169
特開昭63-089651
特開昭63-192859

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