特許
J-GLOBAL ID:200903042518664476
固体撮像装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
前田 弘 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-242376
公開番号(公開出願番号):特開平6-098266
出願日: 1992年09月10日
公開日(公表日): 1994年04月08日
要約:
【要約】【目的】 CCD駆動パルスの周波数可変手段を用いることなく、固体撮像装置の信号電荷電圧変換部の高感度化を図る。【構成】 N型の半導体基板1の表面部に形成されたP型ウェル領域3上には、電荷結合素子(CCD)よりなる電荷転送部としてのN型埋め込みチャネル3、ポテンシャルバリアによって互いに分離された第1分離浮遊拡散領域5A及び第2分離浮遊拡散領域5Bがそれぞれ形成されている。上記ポテンシャルバリアの上側には該ポテンシャルバリアを開閉する浮遊拡散領域用ゲート電極6が設けられている。第1分離浮遊拡散領域5Aと第2分離浮遊拡散領域5Bとをポテンシャルバリアにより分離しておくと浮遊拡散領域の電気容量が小さくなって感度が高くなり、第1分離浮遊拡散領域5Aと第2分離浮遊拡散領域5Bとを互いに連通させると浮遊拡散領域の電気容量が大きくなって飽和し難くなる。
請求項(抜粋):
入射光を信号電荷に変換して蓄積する光電変換部と、該光電変換部に蓄積された信号電荷を転送する電荷転送部と、該電荷転送部の信号電荷転送方向終端部に隣接して設けられ上記電荷転送部により転送されてきた信号電荷を電圧に変換する浮遊拡散領域からなる信号電荷電圧変換部とを備えた固体撮像装置において、上記浮遊拡散領域はポテンシャルバリアによって互いに分離された複数個の分離浮遊拡散領域からなると共に、上記ポテンシャルバリアには該ポテンシャルバリアを開閉するゲート電極が設けられていることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件):
引用特許:
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