特許
J-GLOBAL ID:200903042529607377
ペースト塗布機
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
武 顕次郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-265057
公開番号(公開出願番号):特開平6-114313
出願日: 1992年10月02日
公開日(公表日): 1994年04月26日
要約:
【要約】【目的】 ノズル先端と基板との間隔を計測する距離センサの計測位置が描画済みのペ-スト膜上を通過しても、ペースト膜の厚みが変化しないようにする。【構成】 基板7を移動させながらノズル1の吐出口からペースト13を基板7上に吐出させてペーストパターンを描画するときには、距離センサ3は基板7の表面とノズル1のペースト吐出口との間隔を計測点Sで計測し、これに変化があると、ノズル1を上下させてこの間隔を指定値に設定する。距離センサ3の計測位置Sが基板7上に既に形成されているペースト膜13上に乗ると、図示しない制御装置は、この距離センサ3の計測値が大きく変化したことから、計測位置Sが基板7上に既に形成されているペースト膜13上に乗ったと判定し、基板7の表面とノズル1のペースト吐出口との間隔をこの計測値が大きく変化する直前の値に固定する。
請求項(抜粋):
ペースト収納筒に設けられたノズルのペースト吐出口から該ペースト収納筒に充填されたペーストを吐出しながらテーブルに保持された基板と該ノズルとの位置関係を相対的に変化させ、該基板上にペーストによる所望形状のパターンを描画するペースト塗布機において、該ノズルのペースト吐出口と該基板の表面との間隙を計測する計測手段と、該計測手段の計測値が予め設定された閾値を越える期間、該ノズルのペースト吐出口と該基板の表面との間隙を該計測手段の計測値が該閾値を越える直前の値に保持する間隔保持手段と、該計測手段の計測値が該閾値を越えないとき、該ノズルのペースト吐出口と該基板の表面との間隙を予め指定された所定の値に調整する間隔調整手段とを設けたことを特徴とするペースト塗布機。
IPC (3件):
B05C 5/00 101
, B05C 5/00
, H05K 3/10
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