特許

J-GLOBAL ID：200903042535293988

光学反射鏡および光学反射鏡の冷却方法

発明者： 廣田 充成 ,  元原 秀幸 ,  大川 竜生
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社 ,  三菱電機エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-145422
公開番号（公開出願番号）：特開2000-334592
出願日： 1999年05月25日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：

【要約】【課題】 高出力時においても効率的で且つ十分な冷却を行うこと。【解決手段】 この光学反射鏡100は、レーザ光Rを反射するミラー1と、このミラー1を保持するホルダ2と、ミラー1の背面に設けたミラーブロック3と、このミラーブロック3内に形成され常時ミラー1の冷却を行う第1の冷却水経路4とを備えている。冷却水は、冷却装置のファンおよび熱交換器によって室温程度に冷却されている。さらに、ミラーブロック3には、第2の冷却水経路5が形成され、第2の冷却水経路5は、ミラー1に対して第1の冷却水経路4の背後に形成される。第2の冷却水経路5には、ミラー1が過加熱された時に冷却水を流す。この冷却水は、室温より低い温度、例えば10°Cまで冷却される。

請求項（抜粋）：

光源から出力した光線を反射するミラーと、このミラーを常時冷却する第1の冷却水経路と、前記光源の高出力時に前記ミラーを冷却する第2の冷却水経路と、を備えたことを特徴とする光学反射鏡。

IPC (3件)：

B23K 26/06 ,  G02B 5/08 ,  G02B 7/195

FI (3件)：

B23K 26/06 Z ,  G02B 5/08 F ,  G02B 7/18 704

Fターム (5件)：

2H042DA20 ,  2H042DB13 ,  4E068CB06 ,  4E068CC03 ,  4E068CD12