特許

J-GLOBAL ID：200903042535300046

薄膜トランジスタおよび液晶表示装置

発明者： 石宇 武彦
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-373337
公開番号（公開出願番号）：特開2000-196100
出願日： 1998年12月28日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】 剥離を防止して製造歩留まりを向上した液晶表示装置を提供する。【解決手段】 ゲート絶縁膜6にゲート電極7が引張方向の応力差が2×109dyn/cm2 程度以上になるとゲート電極7だけが変形しようとしてゲート電極7の周囲がゲート絶縁膜6から剥離する。圧縮方向の応力ではゲート電極7の周縁をゲート絶縁膜6に押しつける方向に働き、密着力が増加する。圧縮方向の応力差が3×109 dyn/cm2 以上になると、ゲート電極7の中央部がゲート絶縁膜6から剥離する。ゲート電極6およびゲート絶縁膜7の応力差を-3×109 dyn/cm2 ないし+2×109 dyn/cm2 の範囲にして剥離による不良発生率を抑制する。

請求項（抜粋）：

絶縁膜と、この絶縁膜上に形成されこの絶縁膜を基準として圧縮方向を-、引張方向を+としたとき、応力値が-3×109 dyn/cm2 ないし+2×109 dyn/cm2 の範囲で形成された金属薄膜とを具備したことを特徴とする薄膜トランジスタ。

IPC (4件)：

H01L 29/786 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/3205

FI (5件)：

H01L 29/78 617 J ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/28 Z ,  H01L 21/88 B ,  H01L 29/78 616 S

Fターム (61件)：

2H092GA17 ,  2H092GA25 ,  2H092GA35 ,  2H092JA24 ,  2H092JA34 ,  2H092JA37 ,  2H092JB31 ,  2H092KA04 ,  2H092KA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA30 ,  2H092NA16 ,  2H092NA18 ,  2H092NA28 ,  2H092NA29 ,  2H092PA01 ,  4M104AA01 ,  4M104BB16 ,  4M104BB18 ,  4M104CC01 ,  4M104DD37 ,  4M104EE03 ,  4M104GG10 ,  4M104GG20 ,  4M104HH09 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH22 ,  5F033PP15 ,  5F033RR04 ,  5F033SS15 ,  5F033TT02 ,  5F033VV06 ,  5F033XX14 ,  5F033XX19 ,  5F110AA30 ,  5F110CC02 ,  5F110DD02 ,  5F110DD13 ,  5F110DD24 ,  5F110EE06 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG35 ,  5F110GG47 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ22 ,  5F110HM18 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110PP03 ,  5F110PP35 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ16