基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲岡耕作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-195814
公開番号（公開出願番号）：特開平11-040643
出願日： 1997年07月22日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：

【要約】【課題】処理ユニットのメンテナンス性を損なうことなく、スペースの有効利用を実現する。【解決手段】搬送ロボットTRが収容された搬送室TCを取り囲むように、複数の処理ユニットPU1〜PU6が配置され、クラスタ配置型基板処理装置が構成されている。複数の処理ユニットPU1〜PU6は、上方または下方にメンテナンスのための空間が確保され、かつ、一部が重なり合うように、隣接するもの同士が段違いに配置されている。

請求項（抜粋）：

基板に対して処理を施す第1処理ユニットと、この第1処理ユニットの上方に空間を確保しつつこの第1処理ユニットの上方に少なくとも一部が重なるように配置され、基板に対して処理を施す第2処理ユニットとを含む複数の処理ユニットを備えたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B65G 49/07 , H01L 21/304 341

FI (3件)：

H01L 21/68 A , B65G 49/07 C , H01L 21/304 341 C

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