特許

J-GLOBAL ID：200903042541462643

ステージ位置制御系のPID調整方法およびステージ速度制御系のPI調整方法ならびにステージ装置

発明者： 涌井 伸二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-231128
公開番号（公開出願番号）：特開2000-056837
出願日： 1998年08月04日
公開日（公表日）： 2000年02月25日
要約：

【要約】【課題】 技能に依存することなく、PIDまたはPIパラメータを良好に調整できるようにする。【解決手段】 除振装置に搭載されたステージ位置制御系またはステージ速度制御系において、ステージの質量m1、粘性摩擦係数b1、ばね定数k1、ステージを駆動する電力増幅器の1次遅れ時定数Td、位置ゲインKp、電力増幅器のゲインKi、推力定数Kt、設計者が指定する速応性を規定する数値σ、望ましい応答としての参照モデルの係数α0、α1、α2、α3、さらには除振台の質量m2、粘性摩擦係数b2およびばね定数k2等を用い、所定の式によってPIDまたはPIパラメータを算出して定める。

請求項（抜粋）：

床振動の伝播を絶縁する除振装置と、前記除振装置に搭載された位置決めステージと、前記ステージを位置決め制御する位置制御手段とを備え、前記位置制御手段の補償器が、FxをP動作ゲイン、FiをI動作ゲイン、FvをD動作ゲインとすればFx+Fi/s+Fvの形のPID補償器であるステージ位置制御系において、前記ステージの質量、粘性摩擦係数、ばね定数、そして前記ステージを駆動する電力増幅器の1次遅れ時定数をそれぞれm1、b1、k1、Tdとし、さらにKpを位置ゲイン、Kiを前記電力増幅器のゲイン、Ktを推力定数、σを設計者が指定する速応性を規定する数値、α0、α1、α2、α3を望ましい応答としての参照モデルの係数とすれば、Fi 、Fx 、Fvを【数1】で定めることを特徴とするステージ位置制御系のPID調整方法。

IPC (8件)：

G05D 19/02 ,  B23Q 15/22 ,  G05B 13/04 ,  G05D 3/00 ,  G05D 3/12 305 ,  G05D 3/12 ,  G05D 3/12 306 ,  G12B 5/00

FI (8件)：

G05D 19/02 D ,  B23Q 15/22 ,  G05B 13/04 ,  G05D 3/00 A ,  G05D 3/12 305 V ,  G05D 3/12 305 L ,  G05D 3/12 306 Z ,  G12B 5/00 T

Fターム (62件)：

2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB03 ,  2F078CC01 ,  2F078CC15 ,  3C001KA01 ,  3C001TA01 ,  3C001TA05 ,  3C001TB01 ,  3C001TB05 ,  3C001TC05 ,  5H004GA03 ,  5H004GA05 ,  5H004GA07 ,  5H004GA09 ,  5H004GB20 ,  5H004HA07 ,  5H004HA08 ,  5H004HB07 ,  5H004HB08 ,  5H004HB09 ,  5H004JA03 ,  5H004JA04 ,  5H004JA22 ,  5H004JB08 ,  5H004JB15 ,  5H004KA54 ,  5H004KA69 ,  5H004KA78 ,  5H004KB02 ,  5H004KB04 ,  5H004KB06 ,  5H004KB16 ,  5H004KB22 ,  5H004KB39 ,  5H004KC33 ,  5H004KC34 ,  5H004LA02 ,  5H004LA06 ,  5H004LA13 ,  5H004LA20 ,  5H004MA12 ,  5H303AA20 ,  5H303BB02 ,  5H303BB07 ,  5H303BB12 ,  5H303CC02 ,  5H303CC05 ,  5H303EE07 ,  5H303FF03 ,  5H303JJ01 ,  5H303JJ04 ,  5H303KK01 ,  5H303KK02 ,  5H303KK03 ,  5H303KK04 ,  5H303KK11 ,  5H303KK14 ,  5H303KK17 ,  5H303KK20 ,  5H303KK35 ,  5H303MM05