特許
J-GLOBAL ID：200903042546800750
力/加速度の検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志村 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-352613
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174571
出願日： 1992年12月10日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】 異方性エッチングにより安価に製造することができ、しかも他軸との間での干渉が生じない正確な検出が可能な力/加速度の検出装置を提供する。【構成】 シリコン基板(110)面に、異方性エッチングを施して八角形の環状溝を掘り、厚みの小さな可撓部22を形成する。周囲の固定部21を固定し、中央の作用部23の点Pに作用した力をXYZ三次元座標系の各軸方向成分ごとに検出する。X軸方向成分は、X軸に対してθ3だけずれた配置軸V上に配置された4つの抵抗素子Rx1〜Rx4の抵抗値の変化により検出する。Y軸方向成分は、Y軸に対してθ3だけずれた配置軸W上に配置された4つの抵抗素子Ry1〜Ry4の抵抗値の変化により検出する。Z軸方向成分は、4つの抵抗素子Rz1〜Rz4の抵抗値の変化により検出する。θ3を適当に設定することにより、他軸との間の干渉を相殺できる。
請求項（抜粋）：
半導体基板の一方の面に環状溝を掘ることにより可撓性をもった可撓部を形成し、前記半導体基板の他方の面の前記可撓部にピエゾ抵抗効果を有する抵抗素子を配し、前記可撓部に撓みを生じさせるように作用した力または加速度の所定検出軸方向成分を、この抵抗素子の抵抗値の変化に基づいて検出する力/加速度の検出装置において、異方性エッチング法を用いることにより多角形状の環状溝を形成し、前記検出軸に対して所定角度ずれた位置に配置軸を定義し、前記配置軸上に、かつ、前記配置軸に沿った方向に、抵抗素子を配置するようにし、しかも前記検出軸方向成分に関する検出感度が最大となるように前記所定角度を設定したことを特徴とする力/加速度の検出装置。
IPC (3件)：
G01L 5/16
, G01L 1/22
, G01P 15/12
