特許

J-GLOBAL ID：200903042549776795

エキシマランプ及びエキシマ照射装置

発明者： 中村 勝
出願人/特許権者： クォークシステムズ株式会社
代理人 (1件)： 石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-129153
公開番号（公開出願番号）：特開2002-324519
出願日： 2001年04月26日
公開日（公表日）： 2002年11月08日
要約：

【要約】【課題】 光子エネルギの高いエキシマ光を発するエキシマランプを提供する。【解決手段】 放電容器に5kPaから50kPaの圧力でアルゴンガスまたはクリプトンガスを封入し、放電容器を挟んで対向配置された電極間に高周波電圧を印加する。また、2つの電極間で生じるエキシマ光を容器外に照射する窓を設ける。高周波電圧の印加で、高エネルギのエキシマ光が照射窓から容器外へ照射されるので、上記目的は達せられる。

請求項（抜粋）：

アルゴンガスまたはクリプトンガスを5kPaから50kPaの圧力で封入した誘電材料からなる放電容器と、当該放電容器を挟む形で容器外に対向配置された電極と、当該電極間に1MHzから20MHzの周波数で2kVから10kVの電圧を印加するときに上記封入ガスが発するエキシマ光を容器外の被照射体へ照射する照射窓、を有することを特徴とするエキシマランプ

IPC (5件)：

H01J 65/00 ,  B01J 19/12 ,  G21K 5/00 ,  H01L 21/304 645 ,  H01L 21/304 648

FI (6件)：

H01J 65/00 B ,  H01J 65/00 D ,  B01J 19/12 C ,  G21K 5/00 Z ,  H01L 21/304 645 D ,  H01L 21/304 648 A

Fターム (22件)：

4G075AA30 ,  4G075AA37 ,  4G075AA57 ,  4G075BA04 ,  4G075BA05 ,  4G075BC10 ,  4G075CA15 ,  4G075CA25 ,  4G075CA33 ,  4G075CA63 ,  4G075CA65 ,  4G075DA02 ,  4G075DA08 ,  4G075DA12 ,  4G075EA02 ,  4G075EC21 ,  4G075ED11 ,  4G075EE12 ,  4G075FB01 ,  4G075FB06 ,  4G075FC04 ,  4G075FC15