特許
J-GLOBAL ID：200903042550131358
レジストの除去方法及び除去装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-314561
公開番号（公開出願番号）：特開平5-173336
出願日： 1991年11月28日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】【目的】 除去液によるレジストの除去作用を飛躍的に増大させ、しかも除去液によるレジストの除去作用に関わる均一性を極めて高いものとすることができるレジストの除去方法及び除去装置を提供する。【構成】 レジスト除去用液とガスとを混合してレジストに噴射する、若しくはレジスト除去用液とガスとを交互にレジストに噴射する。
請求項（抜粋）：
レジスト除去用液とガスとを混合してレジストに噴射することによってレジストを除去することを特徴とするレジストの除去方法。
IPC (5件)：
G03F 7/30 501
, B41J 2/16
, G03F 7/36
, H01L 21/027
, H01L 21/304
B41J 3/04 103 H
, H01L 21/30 361 R
