特許

J-GLOBAL ID：200903042555541775

半導体装置製造ラインの生産制御システムおよび半導体装置の製造方法

発明者： 山本 恵三 ,  竹原 直樹 ,  佐伯 圭一
出願人/特許権者： トレセンティテクノロジーズ株式会社
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-205699
公開番号（公開出願番号）：特開2005-056890
出願日： 2003年08月04日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：

【課題】半導体装置の量産ラインにおける検査・測定において、同一ウェハを連続追跡して検査・測定し続けることができ、検査・測定データの精度を向上させることができる技術を提供する。【解決手段】本発明による半導体装置製造ラインの生産制御システムは、ホストコンピュータ12とウェハID読み取り機能を備えるウェハ移載装置11などから構成される。ホストコンピュータ12は、検査・測定対象ウェハのウェハIDを記憶し、それがどのスロットIDに入っているかを管理し、対象ウェハの入っているスロットIDを検査・測定装置17へ指示する。また、キャリア内にあるウェハIDとスロットIDとの対応関係が、ホストコンピュータ12内の情報と実際の情報とで合致しているか否かを確認するため、ウェハ移載装置11がスロットIDなどをホストコンピュータ12へ送信する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ウェハIDの読み取り機能を備え、キャリア交換時に前記ウェハIDを読み取り、前記読み取ったウェハIDとスロットIDとの対応関係情報をホストコンピュータへ送信するウェハ移載装置と、 各ウェハに記録された前記ウェハIDと前記各ウェハが格納されるキャリアのキャリアIDと前記キャリアごとの前記各ウェハの格納位置を示す前記スロットIDとの対応関係情報を記憶する記憶手段と、前記ウェハ移載装置から送信されたウェハIDとスロットIDとの対応関係情報を受信し、前記記憶手段に記憶されている対応関係情報と前記ウェハ移載装置から送信された対応関係情報とを照合し、異なる場合は前記記憶手段に記憶されている対応関係情報を更新する手段と、前記記憶手段に記憶されている対応関係情報を参照して検査対象ウェハが格納されている前記スロットIDを示して検査装置または測定装置に対して検査または測定を指示する手段とを備えるホストコンピュータと、 を有することを特徴とする半導体装置製造ラインの生産制御システム。

IPC (2件)：

H01L21/02 ,  G05B19/418

FI (2件)：

H01L21/02 Z ,  G05B19/418 Z

Fターム (9件)：

3C100AA29 ,  3C100AA38 ,  3C100AA56 ,  3C100BB27 ,  3C100CC02 ,  3C100DD01 ,  3C100DD22 ,  3C100DD32 ,  3C100EE06