特許

J-GLOBAL ID：200903042557100717

ユニバーサルチャック機構の自動切換装置

発明者： 関田 三郎 ,  田中 真紀雄
出願人/特許権者： 芝山機械株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-181562
公開番号（公開出願番号）：特開平8-001464
出願日： 1992年06月17日
公開日（公表日）： 1996年01月09日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 サイズの異なる半導体ウエハであっても確実に、且つ、自動的に切換弁によってサイズを切換えてバキューム吸着することができるユニバーサルチャック機構の自動切換装置を提供する。【構成】 円盤形状のチャック本体2を不通気性部材で形成し、チャック本体へ中央凹陥部3を形成し、中央凹陥部の外方へ複数の環状溝4aを環状部4とした隔壁を有して形成し、中央凹陥部の底面中心へ連通管11を挿通させた貫通孔5を穿設し、中央凹陥部と夫々の環状溝とへ通気性部材で形成された円板部材6と夫々の環状部材4bを嵌入固定させ、夫々の環状溝の底部へ通気機構を形成し、通気機構の一端側へコイルスプリング9固定管を固着し、コイルスプリングの他端側へ球状弁10を介設した構成である。

請求項（抜粋）：

半導体ウエハ等をバキューム吸着機構でチャックして研削する研削盤のユニバーサルチャック機構において、前記ユニバーサルチャック機構を構成する円盤形状のチャック本体を不通気性部材で形成し、該チャック本体の中心部辺へ中央凹陥部を形成し、該中央凹陥部の外方へ同心状とした複数の環状溝を環状部とした隔壁を有して形成し、前記中央凹陥部の底面中心へは前記バキューム吸着機構へ連通する連通管を挿通させた貫通孔を穿設すると共に、前記中央凹陥部と夫々の環状溝とへは夫々通気性部材で形成された円板部材と夫々の環状部材を上面を平坦状にして嵌入固定させ、前記夫々の環状溝の底部へは一端を前記連通管へ貫通させ他端を封栓で塞ぎ且つ球状弁の弁座を備えた通気機構を水平方向に形成し、前記通気機構の一端側へはコイルスプリングを水平に保持するコイルスプリング固定管を固着し、前記コイルスプリングの他端側へ遊動自在な球状弁を介設したことを特徴とする研削盤のユニバーサルチャック機構の自動切換装置。

IPC (3件)：

B23Q 3/08 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭62-099039
  
• 特開昭61-182738
  
• 特開昭61-008250