特許

J-GLOBAL ID：200903042566374641

多孔質ガラス母材の製造装置およびこれを用いた多孔質ガラス母材の製造方法

発明者： 津村 寛 ,  町田 浩史 ,  上野 方也 ,  飛坂 優二 ,  島田 忠克 ,  平沢 秀夫
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-124475
公開番号（公開出願番号）：特開2000-319024
出願日： 1999年04月30日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
要約：

【要約】【課題】 清浄な反応室を有する多孔質ガラス母材の製造装置およびこの装置を用いることにより気泡の発生や異物の混入の軽減された多孔質ガラス母材の製造方法を提供する。【解決手段】 チャンバと、このチャンバ内に設置され、酸水素バーナにより出発部材の表面にガラス原料および反応ガスを吹き付け、ガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材を形成するための反応室と、前記反応室内に発生した副生成ガスを排気するための排気管と、前記チャンバ内に外気を送り込むための吸気口とを具備する多孔質ガラス母材の製造装置において、前記吸気口にフィルタを装着し、前記チャンバ内の隙間をシールしたことを特徴とする多孔質ガラス母材の製造装置およびこの製造装置を用いて多孔質ガラス母材を製造することを特徴とする多孔質ガラス母材の製造方法。

請求項（抜粋）：

チャンバと、このチャンバ内に設置され、ガラス原料ガスを酸水素バーナから噴出させ、酸水素火炎中で気相加水分解反応を行わせて出発部材の表面にガラス微粒子を堆積させて多孔質ガラス母材を形成するための反応室と、前記反応室内に発生した副生成ガスを排気するための排気管と、前記チャンバ内に外気を送り込むための吸気口とを具備する多孔質ガラス母材の製造装置において、前記吸気口にフィルタを装着し、前記チャンバ内の隙間をシールしたことを特徴とする多孔質ガラス母材の製造装置。

IPC (2件)：

C03B 8/04 ,  C03B 37/018

FI (3件)：

C03B 8/04 Q ,  C03B 8/04 A ,  C03B 37/018 C

Fターム (4件)：

4G014AH14 ,  4G014AH23 ,  4G021EA03 ,  4G021EB18

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-210540
  
• 特許第2557651号