特許
J-GLOBAL ID：200903042568812930
単結晶引上げ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浜本 忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-007338
公開番号（公開出願番号）：特開平8-198697
出願日： 1995年01月20日
公開日（公表日）： 1996年08月06日
要約：
【要約】【目的】 ワイヤが滑車より外れるのを確実に防止でき、かつワイヤの交換も容易な単結晶引上げ装置を提供する。【構成】 ワイヤ2fに吊下げられて溶解チャンバ1内の融液中に浸漬された種結晶8aを、回転手段5により回転させながらワイヤ巻上げ手段2で引上げることにより単結晶8を製造する単結晶引上げ装置において、上記ワイヤ巻上げ手段2の巻上げドラム2b上方に設けられた滑車10の近傍に、外周部に切欠部14bを有するワイヤ外れ防止部材14aを回転自在に設けたもので、ワイヤ2fより単結晶8を切離した際ワイヤ2fが跳ね上っても滑車10より外れることがない。またワイヤ外れ防止部材14aの切欠部14bを滑車10と対向させることにより、ワイヤ外れ防止部材14aを脱着せずにワイヤ2fが滑車10より外せるため、ワイヤ2fの交換も容易に行える。
請求項（抜粋）：
ワイヤ2fに吊下げられて溶解チャンバ1内の融液中に浸漬された種結晶8aを、回転手段5により回転させながらワイヤ巻上げ手段2で引上げることにより単結晶を製造する単結晶引上げ装置において、上記ワイヤ巻上げ手段2の巻上げドラム2b上方に設けられた滑車10の近傍に、外周部に切欠部14bを有するワイヤ外れ防止部材14aを回転自在に設けたことを特徴とする単結晶引上げ装置。
IPC (2件)：
C30B 15/30
, C30B 29/06 502
