特許
J-GLOBAL ID:200903042569248230

物品の形状測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 園田 敏雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-113026
公開番号(公開出願番号):特開2000-304526
出願日: 1999年04月21日
公開日(公表日): 2000年11月02日
要約:
【要約】【課題】物品の形状測定装置について、比較的剛性の低いサンプルであってもその保持機構による保持力により形状を損ねることがなく、繰り返し再現よくサンプルを保持して、自動測定を行えるようにし、また、サンプルを繰り返して自動測定するについて、同一のサンプルに対してその測定領域を変更する場合にも教示のやり直しを必要としない、より使いやすい形状測定装置を工夫すること。【解決手段】サンプル形状の自動測定機能を有する形状測定装置について、取り替え可能な複数のサンプル保持用の治具と、治具を常に同じ位置に取り付けるための位置決め手段を備え、予め教示された走査パス等を記憶した教示データに従ってX-Y面内で触針で測定表面を走査させるようにし、また、教示データを少なくとも測定開始点の3次元絶対座標と測定開始点からの相対位置を示す2次元位置データとによるものとしたこと。
請求項(抜粋):
取り替え可能な複数のサンプル保持用の治具と、治具を常に同じ位置に取り付けるための位置決め手段を備え、予め教示された走査パス等を記憶した教示データに従ってX-Y面内で走査させサンプル形状を測定する自動測定機能を有する形状測定装置。
IPC (3件):
G01B 21/00 ,  G01B 5/00 ,  G01B 11/24
FI (3件):
G01B 21/00 L ,  G01B 5/00 L ,  G01B 11/24 A
Fターム (42件):
2F062AA04 ,  2F062AA62 ,  2F062BB08 ,  2F062BC80 ,  2F062CC08 ,  2F062CC22 ,  2F062EE01 ,  2F062EE62 ,  2F062FF03 ,  2F062FF14 ,  2F062FF26 ,  2F062HH04 ,  2F062HH13 ,  2F062HH21 ,  2F065AA04 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065BB22 ,  2F065BB25 ,  2F065CC22 ,  2F065DD16 ,  2F065MM03 ,  2F065MM07 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ23 ,  2F069AA04 ,  2F069AA66 ,  2F069BB40 ,  2F069CC07 ,  2F069DD01 ,  2F069DD08 ,  2F069DD25 ,  2F069EE08 ,  2F069GG02 ,  2F069GG62 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ14 ,  2F069JJ27 ,  2F069LL02 ,  2F069MM02 ,  2F069RR05
引用特許:
審査官引用 (1件)

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