特許

J-GLOBAL ID：200903042577296499

処理液供給装置用フィルタ装置

発明者： 大谷 正美
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-033833
公開番号（公開出願番号）：特開平11-216338
出願日： 1998年01月29日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【課題】 既設の処理液供給配管にも、脱気機能や気体溶存機能を有する部材を容易に取り付けることができ、配管の取回しが最小限で済んで装置間の互換性を保つことができ、処理液供給装置の小型化および低コスト化を図ることができるフィルタ装置を提供する。【解決手段】 処理液流入口54、処理液流出口66および通気口68を有する密閉容器30の内部にパーティクル除去部材32を配設し、パーティクル除去部材の内部に、気体のみを透過させる気体透過膜材で通気路が形成され閉塞部材40によって一端部が流路的に閉塞され他端部が密閉容器の通気口に連通した気体透過部材34を配設した。

請求項（抜粋）：

基板処理装置へ処理液を供給する処理液供給装置の処理液供給配管に介在して配設された処理液供給装置用フィルタ装置において、処理液流入口および処理液流出口ならびに通気口を有する密閉容器の内部に、その内部を流路的に処理液流入側と処理液流出側とに仕切るようにパーティクル除去部材を配設し、そのパーティクル除去部材の内部におよび/またはパーティクル除去部材の表面に添わせて、気体のみを透過させる気体透過膜材によって通気路が形成され少なくとも一方の端部が前記密閉容器の通気口に連通した気体透過部材を配設したことを特徴とする処理液供給装置用フィルタ装置。

IPC (6件)：

B01D 61/14 500 ,  B01D 61/00 ,  B01D 61/20 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 648 ,  H01L 21/31

FI (6件)：

B01D 61/14 500 ,  B01D 61/00 ,  B01D 61/20 ,  H01L 21/304 648 F ,  H01L 21/31 A ,  H01L 21/30 564 Z