有機体炭素測定装置、及び同装置を組込んだ超純水製造装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-049659
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260725
出願日： 1994年03月22日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】導電率の高い試料水中の有機体炭素を正確かつ迅速に測定する。【構成】試料水中のイオン種を脱イオン処理部1で除いた後、第1導電率測定部3で導電率を測定する。次いで紫外線酸化処理部5で試料水中の有機物を酸化分解してイオン種とする。その後第2導電率測定部6で導電率を測定し、両導電率の差から有機体炭素量を演算部7で算出する。

請求項（抜粋）：

試料水を脱イオン処理して脱イオン水とする脱イオン処理部と、脱イオン水を紫外線酸化処理して酸化処理水とする紫外線酸化処理部と、前記脱イオン水及び酸化処理水の導電率を測定する導電率測定部と、前記測定した2つの導電率を比較処理して有機体炭素濃度に応じた信号を出力する比較演算部とからなることを特徴とする有機体炭素測定装置。

IPC (8件)：

G01N 27/06 , C02F 1/32 , C02F 1/42 , C02F 9/00 502 , C02F 9/00 , C02F 9/00 503 , C02F 9/00 504 , G01N 33/18

引用特許：

審査官引用 (5件)

有機物監視システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-003557 出願人：株式会社東芝
特開昭61-266946
特開昭63-284458

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