パターンシートの製造方法および微細パターン形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山田正紀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-397031
公開番号（公開出願番号）：特開2003-190874
出願日： 2001年12月27日
公開日（公表日）： 2003年07月08日
要約：

【要約】【課題】シート状物表面に親水-撥水パターンを形成し、次いで、そのシート状物表面の親水性を有する部分に塗布液を塗布して固化させることによりパターンシートを製造するパターンシートの製造方法、およびそのパターンシートを用いた微細パターン形成方法に関し、シート状物の表面に、塗布液の性能を低下させることがない親水-撥水パターンを簡単な工程で形成することができるパターンシートの製造方法、およびそのようなパターンシートの製造方法によって製造されたパターンシートを用いた微細パターン形成方法を提供する。【解決手段】表面が撥水性を有するシート状物2の表面を複数の開口601が配列されたマスク60で覆い、シート状物2表面の、マスク60の開口601から露出した部分のみ気体雰囲気に晒された状態で気体放電を行うことにより、シート状物2表面のマスク60の開口601から露出した部分を親水化する。

請求項（抜粋）：

表面が撥水性を有するシート状物の該表面に、親水性を有する部分と撥水性を有する部分とからなる親水-撥水パターンを形成し、次いで、該シート状物表面の親水性を有する部分に塗布液を塗布して固化させることによりパターンシートを製造するパターンシートの製造方法において、表面が撥水性を有するシート状物の表面を複数の開口が配列されたマスクで覆い、前記シート状物表面の、前記マスクの開口から露出した部分のみ気体雰囲気に晒された状態で気体放電を行うことにより、該シート状物表面の前記マスクの開口から露出した部分を親水化することを特徴とするパターンシートの製造方法。

IPC (2件)：

B05D 3/06 , B05D 1/32

FI (2件)：

B05D 3/06 D , B05D 1/32 B

Fターム (42件)：

4D075AC21 , 4D075AC43 , 4D075AC72 , 4D075AC96 , 4D075AD09 , 4D075AE02 , 4D075BB26Z , 4D075BB44Y , 4D075BB49Y , 4D075BB52Y , 4D075BB91Y , 4D075CA37 , 4D075CB08 , 4D075CB37 , 4D075DA04 , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DB14 , 4D075DB36 , 4D075DB37 , 4D075DB39 , 4D075DB48 , 4D075DB53 , 4D075DC24 , 4D075EA07 , 4D075EB07 , 4D075EB08 , 4D075EB12 , 4D075EB14 , 4D075EB15 , 4D075EB19 , 4D075EB22 , 4D075EB32 , 4D075EB33 , 4D075EB35 , 4D075EB36 , 4D075EB38 , 4D075EB39 , 4D075EB43 , 4D075EB44 , 4D075EC07 , 4D075EC60

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