特許
J-GLOBAL ID：200903042590729051
固体撮像装置とその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-189356
公開番号（公開出願番号）：特開平11-040789
出願日： 1997年07月15日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】 集光効率向上を図るべく、マイクロレンズ間の境界部領域に入射した光の一部を、受光部に導くようにした固体撮像装置とその製造方法の提供が望まれている。【解決手段】 基体2表層部に形成されて光電変換をなす受光部と、受光部から読み出された電荷を転送する電荷転送部と、基体2上の、電荷転送部の略直上位置に絶縁膜3を介して設けられた転送電極4と、転送電極4を覆って設けられた遮光膜5と、受光部の直上に層間膜6、7を介して設けられたオンチップレンズ9と、を備えた固体撮像素子を複数有する固体撮像装置29である。オンチップレンズ9、9間の境界部領域10の直下でかつ遮光膜5の直上における、層間膜6、7上あるいは層間膜6、7中に、境界部領域10に入射した光を散乱させてその一部を受光部に導く散乱帯21が設けられている。
請求項（抜粋）：
基体表層部に形成されて光電変換をなす受光部と、該受光部から読み出された電荷を転送する電荷転送部と、前記基体上の、前記電荷転送部の略直上位置に絶縁膜を介して設けられた転送電極と、該転送電極を覆って設けられた遮光膜と、前記受光部の直上に層間膜を介して設けられたオンチップレンズと、を備えた固体撮像素子を複数有する固体撮像装置において、前記オンチップレンズ間の境界部領域の直下でかつ前記遮光膜の直上における、前記層間膜上あるいは層間膜中に、前記境界部領域に入射した光を散乱させてその一部を前記受光部に導く散乱帯を設けたことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 27/14 D
, H01L 33/00 N
