特許
J-GLOBAL ID：200903042594109058
回折格子パターンおよびその作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-234945
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094816
出願日： 1994年09月29日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】サンドブラスト法における厚膜パターン形成方法において、削り落とされたパターン形成材料の回収再利用を容易にする厚膜パターン形成方法をを提供する。【構成】サンドブラスト法の研磨材をドライアイスとしたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
回折格子からなる複数の微小なドットが、基材表面に所望に配置されてなる回折格子パターンにおいて、所望パターンにおけるドット配置が重複する場合、重複部分の一方のドット形状を本来の形状とし、他方のドット形状が重複部分を欠いた形状に実パターンをする事を特徴とする回折格子パターン。
IPC (2件)：
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