特許

J-GLOBAL ID：200903042598429839

積層型圧電アクチュエータ

発明者： 東別府 誠 ,  芦田 幸喜 ,  福岡 修一 ,  鬼塚 克彦 ,  瀬戸口 剛
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-138431
公開番号（公開出願番号）：特開平9-321359
出願日： 1996年05月31日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】駆動時において発生する自己発熱を含めた素子内部の温度や圧力等を正確に検知できる積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】積層された複数の圧電磁器板11と、これらの圧電磁器板11の間に介装された内部電極15とを具備してなる積層型圧電アクチュエータであって、圧電磁器板11間に、セラミック板41を取出電極43により挟持したセンサ5を設けてなる。センサは圧電磁器板の積層方向における中央部に設けられ、センサのセラミック板が圧電磁器板と同一の組成物により形成されている。

請求項（抜粋）：

積層された複数の圧電磁器板と、これらの圧電磁器板の間に介装された内部電極とを具備してなる積層型圧電アクチュエータであって、前記圧電磁器板間に、セラミック板を取出電極により挟持したセンサを設けてなることを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。

IPC (4件)：

H01L 41/083 ,  H01L 41/08 ,  H02N 2/00 ,  G01B 21/30

FI (4件)：

H01L 41/08 S ,  H02N 2/00 B ,  G01B 21/30 Z ,  H01L 41/08 Z