特許

J-GLOBAL ID：200903042611807449

スパッタリングターゲット

発明者： 長野 昌三 ,  藤原 澄丸
出願人/特許権者： 菱化マッセイ株式会社
代理人 (1件)： 岡田 数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-223186
公開番号（公開出願番号）：特開平11-050241
出願日： 1997年08月05日
公開日（公表日）： 1999年02月23日
要約：

【要約】【課題】ターゲット材とバッキングプレートとを接合して成るターゲットにおいて、ターゲット材とバッキングプレートとの接合強度が大きく且つその耐熱性が高く、スパッタリングの際に異常放電が少ないターゲットを提供する。【解決手段】スパッタリングターゲット材とバッキングプレートとを摩擦圧接法により接合する。

請求項（抜粋）：

スパッタリングターゲット材とバッキングプレートとを接合して成るスパッタリングターゲットにおいて、スパッタリングターゲット材とバッキングプレートとが摩擦圧接により接合されていることを特徴とするスパッタリングターゲット。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-136673
  
• 特開昭61-136673
  
• 特開平2-160188